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炬光科技固體激光剝離線光斑系統(tǒng)首次完成國內生產交付
材料來源: 炬光科技          

柔性屏(OLED)憑借其絢麗的色彩,已經占領了智能手表、智能手機、平板電腦、筆記本電腦等市場,尤其是逐漸流行的折疊手機應用。在這一趨勢的影響下,各種尺寸的OLED生產工藝都取得了顯著的進展。除了擴大顯示屏尺寸和產量之外,提高產能的呼聲也越來越大,作為OLED生產中不可或缺的激光剝離制程(LLO)備受關注。

炬光科技擁有全球領先的固體激光剝離線光斑技術,該系統(tǒng)已向中國、韓國及日本市場累計出貨十余套,終端使用客戶均為全球前五的知名OLED面板生產商。近日,炬光科技光學系統(tǒng)事業(yè)部完成了該系統(tǒng)在國內的首次生產調試,并順利交付客戶。

炬光科技固體激光線光斑系統(tǒng)采用公司自主知識產權的固體激光光學整形及勻化技術,可實現超高斯分布,并達到97%以上的光斑能量分布均勻性和超過±400μm的焦深,從而提升工藝對基板表面粗糙度及運動平臺平整度的容忍度,降低設備集成的難度,且工藝效果更好。公司通過提升光學設計和微透鏡加工能力,實現85%以上的通光效率,提高固體激光光源的能量利用效率。

炬光科技的固體激光剝離線光斑系統(tǒng)經客戶測試驗證,既可用于黃色PI膜的激光剝離,又可實現透明PI(CPI膜)的良好剝離。

產品特點

  • 線長:最大1000mm
  • 線寬:20-40μm可調
  • 光斑均勻性:≥97%
  • 景深:±420μm
  • 超高斯光斑,LLO產能提升30%

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