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半導(dǎo)體激光器 激光切割 激光器
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高功率、高亮度、輕量化半導(dǎo)體激光泵浦源
材料來源:凱普林光電          

凱普林曾提出了密集空間排列理論(DSBC)并通過千瓦級泵浦源的實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了DSBC的正確性。目前,單管功率已經(jīng)提升至15W-30W@BPP≈5-12mm*mrad且電光效率>60%的水平,這使得光纖耦合輸出的高功率泵源在維持高亮度輸出的同時,減小體積、降低重量、提升電光轉(zhuǎn)化效率成為可能。

凱普林利用當(dāng)前芯片,分別實(shí)現(xiàn)了芯徑135μm NA0.22光纖耦合輸出420W波長鎖定976nm,質(zhì)量≈500g的泵源;以及芯徑220μm NA0.22光纖耦合輸出1000W單波長976nm(或者915nm),質(zhì)量≈400g的泵源。

未來,隨著半導(dǎo)體芯片亮度和電光效率的提升,輕量化、高功率泵源在小體積高功率光纖激光光源制造中將發(fā)揮不可替代的作用,并積極推動國防和工業(yè)應(yīng)用的發(fā)展。

引言

因其出色的光束質(zhì)量和靈活的功率擴(kuò)展能力(光纖合束器),光纖激光器迅速發(fā)展。近年來,單模單纖光纖激光器受限于TMI(橫向模式不穩(wěn)定性)和SRS效應(yīng),半導(dǎo)體直接泵浦的光纖激光振蕩器功率止步于5kW[1],級聯(lián)泵浦(Tandem pumping)光纖激光放大器也停在了10kW[2],雖然可以通過適當(dāng)增加纖芯直徑的方式提升輸出功率,但輸出光束質(zhì)量也隨之下降[3-4]。盡管如此,半導(dǎo)體泵浦源亮度提升的需求依舊緊迫。

工業(yè)加工應(yīng)用對光束質(zhì)量的要求并非一定是單模,為了提升單纖功率,允許少許低階模式的存在,截至目前,基于976nm泵浦的5kW以上的少模單纖及合束多模激光光源有了批量應(yīng)用(主要是金屬材料的切割和焊接),相應(yīng)高功率泵浦源的生產(chǎn)也實(shí)現(xiàn)了批量化。

半導(dǎo)體芯片BPP和泵浦源亮度的關(guān)系

3年前,9xxnm芯片的亮度大都處于3W/mm*mrad@12W-100μm條寬 & 2W/mm*mrad@18W-200μm條寬的水平;诖祟愋酒,凱普林實(shí)現(xiàn)了600W和1000W200μm NA0.22光纖耦合輸出[5-6]。

目前,9xxnm芯片亮度已經(jīng)實(shí)現(xiàn)3.75W/mm*mrad@15W-100μm條寬 & 3W/mm*mrad@30W-230μm條寬,電光效率基本維持在60%附近。

根據(jù)密集空間排列理論[6],按照光纖耦合效率均值78%(從芯片發(fā)射激光到光纖耦合輸出:單波長空間合束和偏振合束,不帶VBG)計(jì)算,且假設(shè)芯片工作在最高功率(不同電流時的芯片BPP不同),我們整理了一份數(shù)據(jù)圖,如下:

 芯片亮度VS不同芯徑光纖耦合輸出功率

從上圖可以發(fā)現(xiàn),對于確定的光纖(芯徑和NA固定)達(dá)到特定功率的耦合輸出時,對于不同亮度的芯片,數(shù)量不同,泵浦源的體積、重量也不同。對于光纖激光器的泵浦需求,選擇以上不同亮度的芯片制成的泵源,同等功率的光纖激光器的重量和體積截然不同,水冷系統(tǒng)的配置也有較大差異。

高效率、小體積、輕質(zhì)化是未來激光光源(無論半導(dǎo)體激光、固體激光還是光纖激光)發(fā)展的必然趨勢,而半導(dǎo)體芯片的亮度、效率和功率在其中起了決定性作用。

輕質(zhì)化、高亮度、高功率泵浦源

為了適配光纖合束器,我們選擇了常用光纖規(guī)格:135μm NA0.22和220μm NA0.22,兩種泵源的光學(xué)設(shè)計(jì)均采用了密集空間排列和偏振合束。

其中420WLD采用了3.75W/mm*mrad@15W芯片和135μm NA0.22光纖,并進(jìn)行了VBG波長鎖定,滿足30-100%功率鎖波要求,電光效率41%。LD機(jī)身采用鋁合金材料和三明治結(jié)構(gòu)[5],上、下兩面的芯片共用水冷通道,提升了空間利用率,光斑排列、光譜和功率輸出(光纖內(nèi)功率)如圖所示:

 420W@135μm NA0.22 LD

我們選取了6只LD進(jìn)行高低溫沖擊和振動測試,測試數(shù)據(jù)如下:

 高低溫沖擊測試

振動測試

1000WLD采用了3W/mm*mrad@30W芯片和220μm NA0.22光纖,分別實(shí)現(xiàn)了915nm和976nm光纖耦合輸出1000W,電光效率>44%。LD機(jī)身同樣采用了鋁合金材料,為了追求更高的功質(zhì)比,在保證結(jié)構(gòu)強(qiáng)度的條件下,對LD外殼做了精簡處理,LD質(zhì)量、光斑排列以及輸出功率(光纖內(nèi)功率)如下圖: 

1000W@220μm NA0.22 LD

為了提升泵源的可靠性,耦合端光纖采用了石英端帽熔接和包層光濾除技術(shù),這使得泵源外的光纖溫度處于室溫附近。6只976nmLD被選取用來做高低溫沖擊和振動測試,測試結(jié)果如下:

高低溫沖擊測試

振動測試

結(jié)論

實(shí)現(xiàn)高亮度輸出要以犧牲電光效率為代價,即最高輸出功率和最高電光效率不能同時獲得,這是由芯片亮度和耦合光纖的歸一化頻率決定的。在多單管空間合束技術(shù)中,亮度和效率始終是不可兼得的目標(biāo)。電光效率和功率的平衡選擇要根據(jù)具體的應(yīng)用確定,側(cè)重不同,選擇固然有差異。

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