近日，濱松開(kāi)發(fā)了新型半導(dǎo)體故障分析系統(tǒng)PHEMOS-X C15765-01，該系統(tǒng)利用可見(jiàn)光到近紅外光來(lái)分析缺陷，最多可以配備五個(gè)激光器，輸出波長(zhǎng)從可見(jiàn)光到近紅外光不等。僅用一個(gè)單元，就可以高靈敏度和高分辨率定位故障。

之所以能在單體設(shè)計(jì)中實(shí)現(xiàn)這一點(diǎn)，是因?yàn)樵撓到y(tǒng)采用了新型多波長(zhǎng)激光掃描儀，并結(jié)合了該公司的 ＂獨(dú)特的內(nèi)部光學(xué)設(shè)計(jì)技術(shù)＂。

該公司表示，多波長(zhǎng)輸出的有效利用實(shí)現(xiàn)了高靈敏度和高分辨率，這對(duì)定位半導(dǎo)體故障至關(guān)重要。這種方法將提高各種高需求半導(dǎo)體器件的故障分析效率，例如電路線寬不斷縮小的器件，以及比普通半導(dǎo)體器件更有效地控制電功率的功率半導(dǎo)體器件。

該公司通過(guò)應(yīng)用內(nèi)部的光學(xué)設(shè)計(jì)技術(shù)，重新設(shè)計(jì)了分析系統(tǒng)的組件，如用激光束掃描半導(dǎo)體器件的激光掃描儀、定位半導(dǎo)體器件的光學(xué)平臺(tái)以及寬視場(chǎng)觀察的微距鏡頭等，這導(dǎo)致了更高的靈敏度、分辨率、準(zhǔn)確性和更好的易用性。

傳統(tǒng)的激光掃描儀是專門(mén)為波長(zhǎng)為1300 nm的近紅外光設(shè)計(jì)的。通過(guò)PHEMOS，該公司重新設(shè)計(jì)了激光掃描儀的光學(xué)系統(tǒng)，它可以抑制五種激光器中的光學(xué)損耗。

因此，只需一臺(tái)設(shè)備就可以進(jìn)行半導(dǎo)體故障分析，利用從532 nm的可見(jiàn)光到1340 nm的近紅外光的多波長(zhǎng)激光束，還能確保高靈敏度，以尋找和觀察功率半導(dǎo)體的故障點(diǎn)，這些故障點(diǎn)對(duì)可見(jiàn)光有反應(yīng)，而非普通半導(dǎo)體的紅外光。

濱松在發(fā)布公告中表示，PHEMOS－X將于2021年4月1日面向日本本土和國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備制造商銷售。